Placa de nitruro de silicio y su método de fabricación.

Nombre de la patente:Sustrato de nitruro de silicioy su método de fabricación, y el método de producción de placa de circuito y módulo semiconductor de nitruro de silicio utilizando la placa de nitruro de silicio
Campo técnico:
La presente invención implicaSustrato de nitruro de silicioy sus métodos de fabricación. Además, la invención implica el uso de sustratos de circuitos de nitruro de silicio y módulos semiconductores que utilizan lo anterior.Sustrato de nitruro de silicio.
Técnica de fondo:
En los últimos años, en los campos y otros campos de los vehículos eléctricos, el módulo semiconductor de potencia (módulo semiconductor de potencia) (IGBT, MOSFET de potencia, etc.) que puede funcionar con alto voltaje y gran corriente. Para el sustrato usado en el módulo semiconductor de potencia, se puede usar una superficie de un sustrato cerámico aislante para combinar con una placa de circuito metálico, y se puede usar el sustrato del circuito cerámico con una placa radiadora metálica en otra superficie. Además, elementos semiconductores en la placa de circuito metálico, etc. La combinación de los sustratos cerámicos aislantes mencionados anteriormente con placas de circuitos metálicos y disipadores de calor metálicos, como el llamado cobre a base de cobre a base de cobre a base de cobre a base de cobre a base de cobre está directamente conectado a legales. Para un módulo semiconductor de potencia de este tipo, la disipación de calor es mayor al fluir a través de grandes corrientes. Sin embargo, debido a que el sustrato cerámico aislante mencionado anteriormente tiene una baja conductividad térmica, puede convertirse en un factor que dificulte la disipación de calor de los componentes semiconductores. Además, la generación de tensión térmica es causada por la tasa de expansión térmica entre el sustrato cerámico aislante y la placa de circuito metálica y la placa disipadora de calor metálica. Como resultado, el sustrato cerámico aislante se agrieta y se destruye, o la placa de circuito metálico o la disipación de calor del metal. La placa se desprende del sustrato cerámico aislante.